๐ณ ์ค์ธโ ์์ ์ธ์ฆ ํฉ๊ฒฉ
๊ทธ๋ฆฐํ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ์์ด๋นํํฌ10-์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ2(3638๋ ์)
๐ ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
๐ณ์์ค์ ํ
์ค์ธ
๐์ค์น์ฅ์
์ฃผํ๋จ์ง
โ์์ ์ธ์ฆ
ํฉ๊ฒฉ
๐บ๏ธ์ฃผ์
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์์ ์ ๋ณด
โ
์์ ๊ฒ์ฌ ํฉ๊ฒฉ
์์ ๊ธฐ์ค์ ํต๊ณผํ ๋์ด์์ค์
๋๋ค
๐ ์์ธ ์ ๋ณด
- ์์ค๋ช
- ๊ทธ๋ฆฐํ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ์์ด๋นํํฌ10-์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ2(3638๋ ์)
- ์์ค์ ํ
- ์ค์ธ
- ์ค์น์ฅ์
- ์ฃผํ๋จ์ง
- ์์ ์ธ์ฆ
- ํฉ๊ฒฉ
- ์ฃผ์
- ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
๐ ๊ทผ์ฒ ๋์ด์์ค
๊ทธ๋ฆฐํ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ์์ด๋นํํฌ10-์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ3(3636๋ ์)
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์ค์ธ
๊ทธ๋ฆฐํ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ์์ด๋นํํฌ10-์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ1(3632๋ ์)
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์ค์ธ
๊ทธ๋ฆฐํ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ์์ด๋นํํฌ10-์ ์๋์ดํฐ2(3639๋ ์)
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์ค์ธ
์์ ๋จํ ์ ์น์
๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (์ฐ์ฒ๋, ๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์ค์ธ
๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10.0 ์ปค๋ฎค๋์ผํฐ ๋ด ์ค๋ด๋์ด์์ค
๊ฒฝ๊ธฐ ํ์ฑ์ ๋ํ์ํ๋๋ก12๊ธธ 85 (๊ทธ๋ฆฐํ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ 10)
์ค์ธ
๊ฒฝ๊ธฐ ํ์ฑ์ ๋ค๋ฅธ ๋์ด์์ค
์ ์ฒด๋ณด๊ธฐ โASML ์ด๋ฆฐ์ด์ง
์ค๋ด
ํ์ฑ๋ํ2 31BL ์ฒญ๊ณ์ฒ ๋ถ์์ํํธ ์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ1(1251๋์)
์ค์ธ
[1๊ถ์ญ]๋ํ 6ํธ ์ด๋ฆฐ์ด๊ณต์ ๋์ดํฐ
์ค์ธ
๋ฌด๋ด์ด๋ฑํ๊ต
์ค์ธ
๋ํ์ญ ๋ฐ๋์ ๋ณด๋ผ ์์ด๋นํํฌ7-์ด๋ฆฐ์ด๋์ดํฐ1(105๋ ๋ค)
์ค์ธ
๊ฟ์ฌ๋์ ์น์ ์ด๋ฆฐ์ด์ค๋ด๋์ด์์ค
์ค๋ด